八氟丙烷的造备步骤

【专利提要】本发现公开了一种八氟丙烷的造备步骤，，，，，步骤顺次蕴含：（1）氟氢化钾经电解后得到氟气混合气，，，，，并顺次进行除尘、冷凝、吸附处置，，，，，纯化为原料氟气；；；；；；；；（2）将所述原料氟气加压后与惰性气体均匀混合得到混合气；；；；；；；；（3）将所述混合气通入装有二氟化钴的反映器内反映得到三氧化钴；；；；；；；；（4）反映实现后，，，，，对所述反映器及有关管路管件进行吹扫及抽真空置换处置；；；；；；；；（5）将六氟丙烯通入反映器内与所述三氟化钴反映得到含有杂质的八氟丙烷；；；；；；；；（6）对八氟丙烷进行冷却、吸附处置；；；；；；；；（7）将八氟丙烷通过压缩机进入精馏塔进行精馏处置。。。。。。。。选取本发现，，，，，可降低杂质对反映器的侵蚀，，，，，抑造六氟丙烯裂解、自聚、加成等不良副反映，，，，，造备高纯度的八氟丙烷。。。。。。。。

【专利注明】八氟丙烷的造备步骤

【技术领域】

[0001]本发现涉及化工领域，，，，，尤其涉及一种八氟丙烷的造备步骤。。。。。。。。

【布景技术】

[0002]八氟丙烷，，，，，常用作造备半导体器件工艺中的蚀刻或洗濯气体。。。。。。。。现有关于使用六氟丙烯作为原料直接造备八氟丙烷的步骤有多种:

日本专利JP-B-62-61572指出，，，，，在六氟丙烯和氟气之间进行直接氟化反映造备八氟丙烷；；；；；；；；日本专利JP-B-1-45455指出，，，，，在催化剂存鄙人，，，，，使六氟丙烯与氟反映造备八氟丙烷；；；；；；；；日本专利JP-B-62-54777指出，，，，，将六氟丙烯与高级(High-Order)金属氟化物反映造备八氟丙烷；；；；；；；；日本专利JP-B-62-61682指出，，，，，在使用惰性气体和反映产品气体稀释的情况下，，，，，使六氟丙烯与氟气反映造备八氟丙烷；；；；；；；；日本专利JP-B-62-61115指出，，，，，在氟化氢中使六氟丙烯电解氟化以造备八氟丙烷。。。。。。。。